PAO TEST

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    설치 필터 시스템의 누설 시험(PAO TEST)의 목적 및 적용

  • 필터 시스템이 적절하게 설치되어 있고, 사용중에 누설이 생기지 않았음을 확인하기 위하여 실시된다.
  • 청정실의 공기 청정도 성능과 관련된 누설이 없음을 입증한다.
  • 필터의 상류에 시험 에어로졸을 주입하고, 바로 필터와 지지대의 하류에서 주사(scanning)하거나 하류 덕트에서 에어로졸을 샘플링하여 실시한다.
  • 필터여재, 프레임, 가스켓 및 격자계로 구성되는 완전한 필터 설치에 대한 누설 시험이다.
  • 설치 필터 시스템의 누설 시험은 제조회사에서 실시되는 각 필터의 효율 시험과 혼동하지 말아야 한다.
  • 준공 상태 또는 비운전 상태의 클린룸에 적용될 수 있고, 신축 청정실의 평가, 기존 청정 실의 재시험 또는 최종 필터의 교체시 실시된다.

    • 에어로졸 광도계를 이용한 설치 필터 시스템의 누설 주사 시험 절차

  • 1.상류 시험 에어로졸의 선택
    • 요구되는 균일한 시험 농도에 도달할 수 있는 상류 에어로졸을 얻기 위하여 인위적으로 발생시킨다. 분산 에어로졸 또는 대기 에어로졸을 상류 기류에 도입하여야 한다.
    • 일반적으로 인위적으로 발생시킨 다분산 에어로졸의 질량 중앙 입경(MMD, mass median particle diameter)은 0.5~0.7µm 범위이고, 기하학적 표준편차는 1.7이하이다.
  • 2.시험 에어로졸의 상류 농도 및 검증
    • 필터 상류에서 시험 에어로졸 농도는 10~100mg/m3 범위이어야 한다. 농도가 20mg/m3 미만이면 누설 감지의 감도가 떨어뜨릴 수 있고, 농도가 80mg/m3을 초과하면 연장된 시험 기간 동안 과도한 필터 오염(fouling)을 유발할 수 있다.
    • 공급기류에 도입된 에어로졸의 균일한 혼합을 확인하기 위하여 적절한 측정이 수행되어야 한다. 먼저 에어로졸이 충분히 혼합되었는지 확인하기 위하여 시스템이 조사되어야 한다. 이러한 검증을 위해 모든 주입구와 샘플링 위치를 정의하고 기록하여야 한다.
    • 필터의 상류에서 바로 측정된 상류 에어로졸 농도는 평균 측정값의 ±15%를 벗어나지 않아야 한다. 평균 농도보다 낮은 농도는 적은 누설에 대한 시험 감도를 떨어뜨리고, 높은 농도는 감도를 높일 것이다.
  • 3.프로브 크기의 결정
    • 샘플 프로브 입구의 크기는 프로브 입구의 유속이 필터 출구의 풍속과 비슷하도록 측정기기의 샘플링 유량과 필터 출구의 풍속을 고려하여 결정한다.
    • 샘플 프로브의 형상은 정사각형 또는 직사각형이어야 한다.
    • 입구 속도 분포가 세심하게 고려되어야 한다.
  • 4.주사 속도의 결정
    • 프로브의 주사 속도는 약 cm/s이어야 한다. 3cm×3cm 정사각형 프로브를 사용하는 경우 프로브의 주사속도는 5cm/s이다.
  • 5.설치 필터 시스템의 누설 주사 시험 절차
    • 이 시험을 수행하기 전에 초기 품질 인증을 위한 풍속 측정 시험이 수행되어야 한다.
    • 먼저 에어로졸의 농도와 균일한 분포를 확인하기 위하여 규정에 따라 필터 상류에서 에어로졸을 측정한다.
    • 약간 겹치도록 주사 간격을 맞추고, 규정된 값을 넘지 않는 주사 속도로 프로브를 이동시킨다. 프로브는 필터의 하류 면 또는 틀 구조로부터 약 3cm의 거리를 유지하여야 한다.
    • 각 필터의 전 하류 면, 각 필터의 가장자리, 연결 부분을 포함하는 필터 프레임과 격자 구조 사이의 밀봉된 부분을 주사하여야 한다.
    • 시험 에어로졸 농도의 안정성을 확인하기 위하여 누설 주사를 실시하는 사이 및 후에 적절한 주기로 반복하여 필터 상류의 에어로졸 농도를 측정하여야 한다.